See instrument kasutab mittekontaktset, optilist faasinihket interferomeetrilist mõõtmismeetodit, ei kahjusta mõõtmise ajal tooriku pinda, suudab kiiresti mõõta erinevate toorikute pinna mikrotopograafia kolmemõõtmelist graafikat ning analüüsida ja arvutada mõõtmist. tulemusi.
Toote kirjeldus
Omadused: sobib erinevate mõõtplokkide ja optiliste osade pinnakareduse mõõtmiseks; joonlaua ja sihverplaadi võre sügavus; resti soone struktuuri katte paksus ja katte piiri struktuuri morfoloogia; magnetilise (optilise) ketta ja magnetpea pind Struktuuri mõõtmine; räniplaadi pinna kareduse ja mustri struktuuri mõõtmine jne.
Instrumendi kõrge mõõtmistäpsuse tõttu on sellel mittekontaktse ja kolmemõõtmelise mõõtmise omadused ning see võtab vastu arvutijuhtimise ning mõõtmistulemuste kiire analüüsi ja arvutamise. See seade sobib kõikidele katse- ja mõõtmisuuringute üksuste tasemetele, tööstus- ja kaevandusettevõtete mõõtmisruumidele, täppistöötlemise töökodadele ning sobib ka kõrgkoolidele ja teaduslikele uurimisasutustele jne.
Peamised tehnilised parameetrid
Pinna mikroskoopilise ebatasasuse sügavuse mõõtmisvahemik
Pideval pinnal, kui kõrguse järsk muutus ei ole suurem kui 1/4 lainepikkusest kahe külgneva piksli vahel: 1000-1nm
Kui kõrguse mutatsioon on suurem kui 1/4 lainepikkusest kahe külgneva piksli vahel: 130-1nm
Mõõtmise korratavus: δRa ≤0,5nm
Objektiivi objektiivi suurendus: 40X
Numbriline ava: Φ 65
Töökaugus: 0,5 mm
Seadme vaateväli Visuaalne: Φ0,25mm
Foto: 0,13 × 0,13 mm
Instrumendi suurendus Visuaalne: 500×
Foto (arvutiekraanilt vaadeldav)-2500×
Vastuvõtja mõõtmise massiiv: 1000X1000
Piksli suurus: 5,2 × 5,2 µm
Mõõtmisaeg proovivõtu (skaneerimise) aeg: 1S
Seadme standardpeegli peegeldusvõime (kõrge): ~50%
Peegeldus (madal): ~4%
Valgusallikas: hõõglamp 6V 5W
Rohelise interferentsi filtri lainepikkus: λ≒530nm
Poollaius λ≒10nm
Põhimikroskoobi tõstekõrgus: 110 mm
Laua tõstuk: 5 mm
Liikumisulatus X ja Y suunas: ~10 mm
Töölaua pöörlemisulatus: 360°
Töölaua kaldevahemik: ±6°
Arvutisüsteem: P4, 2,8 G või rohkem, 17-tolline lameekraan 1G või enama mäluga